长江日报:从最初成立时年营业额不足7000万元的校办企业,到中国光谷的“百亿军团”之一,华工科技高质量成长的秘诀是什么?
黄伟:华工科技一直秉持着OPE企业文化精神,即开放(Open)、专业(Professional)和高效(Efficient),这是企业在26年里持续增长和创新的根源。我们推陈出新,开拓新的行业市场,打造新的产品,从早期的三维五轴高功率激光加工装备,到半导体激光加工设备,再到最新的三维曲面微纳加工装备,几乎每次都能抓住行业的热点和打造创新的产品。
长江日报:作为一名海归博士,你在华工科技最大的收获是什么?
黄伟:2018年,我从加拿大回国,在杭州工作两年后回到家乡武汉,光谷是工作首选地。我在博士期间的研究方向,与现在的工作内容有一定的关联性,都是利用激光作为工具,来实现半导体器件的制造及性能提升。5年来,我从一名单纯的研究员,锻炼成一位从研发到产业化再到市场推广的全流程管理的总负责人,被评价为“上得厅堂,下得厨房”。
长江日报:半导体联合实验室的研发项目是如何选定的?
黄伟:半导体联合实验室布局了8个研发项目,均围绕半导体的激光工艺装备和量测装备展开,从激光光源、半导体材料与激光相互作用的机理、软件及视觉算法等单元技术出发,到装备集成和验证,基本构建了半导体装备“从0到1”的全过程。目前激光工艺系列设备均完成了首台(套)的批量验证,量测设备也在近期完成了中试和小批量验证,意味着许多核心单元技术完成了开发,达到了客户满意的结果。
长江日报:半导体联合实验室如何解决传统产学研衔接中“各自为战”的问题?
黄伟:半导体联合实验室由华工科技牵头,联合半导体产业链上下游9家单位,围绕着器件、工艺和集成装备展开研究。华中科技大学、九峰山实验室等单位负责基础研究、单元技术开发和工艺的开发,华日激光、华工激光负责核心光源和装备集成开发,长飞先进半导体和云岭光电负责装备的应用示范单位,华工投资负责装备成果的孵化,成功实现资源整合,优势互补。
通过产学研协同创新,我们在较短时间内完成了半导体系列装备的研发和产业化,把基础理论、单元技术变成了复杂且高效的整机装备。
长江日报:对半导体联合实验室的未来有何期许?
黄伟:我将与团队一起持续攻关关键核心技术,推动半导体工艺装备和量测装备的迭代,壮大武汉市的半导体生态圈,让激光与半导体产业深度结合,为高端制造国产替代添砖加瓦。
撰文:李琴 武科宣 吕依铭
图片:陈亮 俞智君